Lindungi setiap sudut peralatan semikonduktor Anda dengan pelapisan dan lining fluoropolimer berkualitas tinggi. Dirancang untuk ketahanan ekstrem, kemurnian maksimal, dan performa tinggi di lingkungan ruang bersih paling ketat.

Dalam industri manufaktur semikonduktor, peralatan harus memenuhi standar kemurnian dan stabilitas yang sangat ketat. Layanan pelapisan dan lining kami dirancang untuk melindungi peralatan Anda dari korosi kimia, keausan permukaan, dan adhesi yang tidak diinginkan, memastikan kinerja yang baik di lingkungan yang menuntut. Didukung oleh pengalaman lebih dari dua dekade, tim kami bekerja di dalam ruang bersih Kelas 1.000 dan Kelas 10.000 yang dirancang khusus untuk penanganan komponen yang digunakan dalam produksi bahan kimia dan polimer elektronik. Kontrol lingkungan yang ketat membantu meminimalkan kontaminasi dan memastikan permukaan yang dilapisi memenuhi persyaratan kemurnian untuk penyimpanan bahan kimia dan stabilitas reaksi. Hasilnya: pelepasan ion logam berkurang, konsistensi meningkat, dan masa pakai peralatan manufaktur konduktor menjadi lebih panjang.

• Ketahanan korosi
• Kemurnian tinggi
• Permukaan anti-lengket
• Kontrol statis
• Gesekan rendah

• Pencampuran
• Filtrasi
• Pengeringan
• Tangki mobile
• Tangki penyimpanan
• Komponen transportasi dan pembersih semikonduktor
• Menara isian
• Kolom resin adsorpsi

Peralatan yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor seperti reaktor, tangki persiapan, filter, dan manipulator pengangkat kuarsa memerlukan perlindungan permukaan yang memenuhi standar kemurnian dan ketahanan kimia yang ketat. Kami menyediakan layanan pelapisan dan lining menggunakan PFA, ECTFE (F30, Halar), dan PVDF, dengan tingkat kemurnian mulai dari G2 hingga G5. Semua pelapisan diproses di ruang bersih Kelas 1.000 yang didedikasikan untuk aplikasi semikonduktor. Lingkungan yang terkontrol ini membantu meminimalkan kontaminasi dan memastikan hasil akhir yang stabil dan berkualitas tinggi di berbagai jenis peralatan.

Contoh Aplikasi Pelapisan Fluoropolimer

Wadah persiapan photoresist
Dilapisi dengan PFA kemurnian tinggi untuk menjaga total ion logam di bawah 1 ppb, dan ion emas di bawah 0.2 ppb. PFA konduktif juga tersedia dengan resistivitas 10⁻⁵ hingga 10⁻⁹ Ω•cm dan kemurnian 10 ppb hingga 1 ppb.

Wadah reaksi PI (poliimida)
Digunakan untuk produksi material poliimida di industri semikonduktor. Dilapisi PFA kemurnian tinggi untuk meminimalkan kontaminasi ion logam.

Lengan robot pemindah wafer
Dilapisi fluoropolimer kelas kebersihan tinggi untuk mencegah kontaminasi ion logam selama pemindahan wafer.

Mesin pemoles presisi dua sisi
Digunakan untuk substrat semikonduktor dan optik presisi. Dilapisi PFA untuk ketahanan korosi dan mencegah kontaminasi logam.

Manipulator pengangkat kuarsa
Melindungi substrat seperti kuarsa dari paparan bahan kimia seperti asam fluorida. Cocok untuk suhu -180°C hingga 260°C.

Peralatan pemoles wafer

Reaktor kelas elektronik (pelapisan PFA kemurnian tinggi)

Reaktor photoresist (pelapisan PFA kemurnian tinggi)

Pelapisan PFA untuk peralatan polimerisasi PI

Wadah berpengaduk (pelapisan PFA kemurnian tinggi)

Lining ruang bersih ISO Kelas 5

Kami juga menyediakan layanan lining fluoropolimer untuk berbagai peralatan manufaktur semikonduktor termasuk wadah portabel, tangki vertikal dan horizontal, serta unit filtrasi. Bahan seperti PFA, ECTFE, dan PVDF digunakan tergantung pada kebutuhan proses, dengan tingkat kemurnian G3 hingga G5. Semua diproses di fasilitas ruang bersih khusus untuk menjamin kualitas dan kebersihan tinggi.

Contoh Aplikasi Lining Fluoropolimer

Lining New-PTFE untuk tangki penyimpanan ultra-bersih asam fluorida

Tangki dengan lining PTFE untuk penyimpanan bahan kimia kelas elektronik

Tangki reaksi nitrogen triklorida dengan lining PFA

Tangki portabel dengan lining N-PTFE kemurnian tinggi

Tangki asam sulfat elektronik dengan lining N-PTFE GBK

Rumah filter cartridge dengan lining PFA kelas elektronik

Tangki pelapisan suhu tinggi dengan lining PFA