Layanan pelapisan fluoropolimer untuk perlindungan terhadap korosi, gesekan, dan muatan statis — demi hasil produksi yang lebih bersih dan konsisten.

Didukung oleh lebih dari 20 tahun pengalaman, kami menyediakan untuk peralatan semikonduktor guna meningkatkan ketahanan korosi, memperbaiki hasil produksi, dan menurunkan biaya manufaktur pelapis fluoropolimer kemurnian tinggi.

Komponen transfer dan pembersih semikonduktor sangat penting untuk menjaga kualitas produk sepanjang proses produksi. Komponen ini digunakan untuk menghilangkan kotoran seperti partikel, lapisan oksida, kontaminasi logam, zat organik, lapisan pengorbanan, dan residu pemolesan dari tahap produksi wafer, pengemasan, hingga pengujian. Jika tidak dibersihkan dengan benar, kontaminan ini dapat menurunkan hasil produksi, mengganggu kinerja chip, dan meningkatkan biaya produksi.

• Ketahanan korosi
• Kemurnian Tinggi
• Anti-Statik
• Gesekan Rendah

Lengan robot pemindah wafer
Dilapisi fluoropolimer tingkat kebersihan tinggi untuk mencegah kontaminasi ion logam selama proses transfer wafer. Pelapisan juga dapat diterapkan pada substrat keramik. Opsi anti-statik tersedia untuk memenuhi kebutuhan perlindungan ESD khusus.

Mesin pemoles presisi dua sisi
Digunakan pada aplikasi seperti substrat semikonduktor, transistor, dan optik presisi. Pelapisan PFA kemurnian tinggi diterapkan pada komponen utama untuk memberikan ketahanan korosi dan mengurangi kontaminasi logam. Memiliki daya tahan tinggi terhadap asam kuat, basa, dan pelarut organik.

Manipulator pengangkat kuarsa
Melindungi kuarsa dan substrat serupa dari paparan bahan kimia, termasuk asam fluorida. Pelapis menawarkan sifat hidrofobik dan oleofobik yang sangat baik, meminimalkan kontaminasi dari cairan pembersih. Cocok untuk suhu antara -180 °C hingga 260 °C.

Peralatan pemoles wafer

Alat Instalasi Berlapis PFA